隨著半導體生產工藝的不斷發展，產品的要求更*密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前，制造工藝已經進人亞納米時代，線寬都在30-180納米之間，對生產設備的精度要求越來越嚴格，因此，除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外，其所處的生產環境風淋室的各項指標也應該被嚴格地控制，包括：潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點，其控制的效果直接影響著生產的優良率。目前無菌罐裝間對溫濕度的控制范圍通常為：溫度22/-0.5℃，濕度45+/-3%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制風淋系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。

(1)、潔凈室溫度控制

空氣一次加熱又稱預加熱，是用來加熱新風或加熱新風與一次回風的混合風。一次加熱一般只用于冬季很冷的地區，防止新風與一次回風混合后達到飽和，產生水霧或結冰。一次加熱還應用于一次混合不允許變動的超凈空調系統中。當采用蒸氣或熱水進行加熱時，一般采用控制蒸氣或熱水的調節閥開度實現溫度控制;當采用電加熱時，通過晶閘管電力控制器，控制其加熱電功率實現溫度控制。

(2)、潔凈室濕度控制

A、除濕(干燥)處理及控制空氣冷卻干燥處理常用表冷器來完成。表冷對空氣的處理的等濕冷卻二種處理過程。采用表冷器進行濕度控制時，是通過調節表冷器的冷媒(如冷凍水)流量來實現。當濕度高于要求的值時，可通過加大冷水閥的開度來加大其流量，實現除濕(即干燥)處理;反之減少流量，實現加濕處理。應該說明的是，由于空氣的物理性質，其濕度的全制相對比較氨雜，方法也較多。而且，空氣的溫度和星度二個參數在調節過程中又相互影響。如某些原因使室內溫度升高，引起空氣中水蒸汽的飽和分壓變化，在**含是量不變的情況下，將使相對濕度減少。因此，對其中某一參數進行調節時，也會引起另一參數的變化。例如在夏季采用表冷器進行除濕調節，開大冷水時，在使濕度恢復正常的同時，也使溫度降低。因此，在工藝設計和自控方案設計時都應充分考慮到這一特點。

B、加濕處理及控制潔凈室空調工程中，加濕操作一般是在冬季或過渡季節空氣干燥時進行。空氣加濕的方法比較多。通常采用蒸汽加濕器和電加濕器的開關控制或功幸調節。蒸汽加濕時，根據濕度控制要求，可通過對電滋閥進行位式控制或采用二通調節閥的連續調節來實現。