目前臭氧濃度檢測分為臭氧源濃度、空氣應用濃度、水溶臭氧濃度與環境臭氧濃度四類，濃度值差別很大。

臭氧源濃度**高。作為水處理應用的標準發生器多在10mg/L(10g/m3)以上，目前使用氧氣源的**高臭氧濃度已達到300mg/L。**通行用體積百分比濃度標稱臭氧源濃度，如空氣源為1-2%，氧氣源為2-4%。1%空氣臭氧濃度為12.9mg/L，1%氧氣臭氧濃度為14.3mg/L。空氣凈化處理應用的“開式”臭氧發生器臭氧濃度較低，一般在100mg/m3以下。空氣應用臭氧濃度在1mg/m3-10mg/m3之間。

衛生消毒界習慣用ppm作單位，即體積百萬分之一濃度。對于空氣中的臭氧，1ppm=2.14mg/m3,一般取為1ppm=2mg/m3。水溶解臭氧，則1ppm=1mg/L。水應用中臭氧溶解濃度在0.1mg/L-10mg/L之間。低值作為水消毒凈化要求的**低濃度，高值是作為“臭氧水消毒劑”可達到濃度值。環境臭氧濃度值**低。按GB3095-82規定，一、二、三級環境質量標準分別為0.12/0.16/0.20mg/m3。衛生部規定我國臭氧工業衛生標準為0.30mg/m3。