無塵室工程對風淋室的要求文章概要:無塵室工程有它的特殊性,**個造價特點貴,隨著半導體工程的發展,這樣對于工廠的品質要求越來越高,TFT工廠也是一樣,隨著基本尺寸大造價越來越高。無塵室凈化工程設計要了解所設計的無塵室凈化工程的用途、使用情況、生產工藝特點等、比如設計的是集成電路生產用無塵室凈化工程。要弄清楚產品的特性:集成度、
無塵室工程有它的特殊性,**個造價特點貴,隨著半導體工程的發展,這樣對于工廠的品質要求越來越高,TFT工廠也是一樣,隨著基本尺寸大造價越來越高。無塵室凈化工程設計要了解所設計的無塵室凈化工程的用途、使用情況、生產工藝特點等、比如設計的是集成電路生產用無塵室凈化工程。
要弄清楚產品的特性:集成度、持形尺寸和生產工藝特點;對無塵室凈化工程的要求:空氣潔凈度等級、溫濕度及其控制范圍、防微振、防靜電和高純物質的供應要求等;要充分了解業主擬采用的生產工藝、工藝設備情況和對工藝布局的設想。
在此之后,設計人員應協同業主確定潔凈廠房各功能區的區劃,確定各類生產工序(房間)的空氣潔凈度等級和各種控制參數:溫度、相對濕度、壓差、微振動、高純物質的純度及雜質含量;無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
無塵室**主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵室。
按照**慣例,無塵凈化**主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非**沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是*然的要求。
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