FFU通風方式與傳統集中化送風方法數據分析

(1)系統軟件靈便，可及時調整

FFU送風模式中FFU大小都是以CeilingGrid的變位系數(如1200×600)來布置，而且由于其特殊節點結構，能夠及時調整部位，以滿足產業布局的變化。本項目廠區選用敞開式布局，假如將來應該隔開，可以很方便地進行優化。另一方面，假如廠區的潔凈度等級要調整，能通過調整FFU總數更改循環風量來達到。而這對于一般的集中化送風的凈化設備而言是不太可能的。調節時僅危害更新改造區域生產制造，對于非更新改造區幾乎沒有影響。

(2)進風口勻稱平穩

FFU內置風機和控制模塊，進風口非常容易保障勻稱平穩，在集中送風系統軟件應該靠電動風閥調整排風量，在一期工程施工中排風量均衡調整花掉了二天多時間，而且有些地區還沒有*滿足設計要求。按照要求凈化空調運作一段時間后，應做排風量均衡的再調整，但是根據電話回訪客戶獲知，因為調節繁雜，影響生產，未進行各項任務。二期工程中每個FFU含有控制模塊，全部控制模塊由計算機系統控制，能做到實時地調節。

(3)合理性

以往，因為FFU的價格居高不下，導致FFU送風方法工程造價非常高。現階段，很多國內廠家陸續推出FFU商品，能夠降低FFU送風方法的造價。在上文詳細介紹某半導體設備新項目二期工程中，經測算，FFU送風方式為空調機組層面的造價稍高于集中化送風方法。在高等級的凈化室中，FFU送風方法所需的上技術夾層相對高度比集中化送風方法略低，在該項目二期工程中，潔凈室工作中層層高7.2m，下技術夾層5.5m，上技術夾層6.5m。如采用傳統集送風方法，經測算，上技術夾層*少要8m。那樣FFU送風方法土建成本下降，成本費用小于傳統中送風方法。在二期工程方案設計時，做了一個合理性較為(如表2)。

(4)負壓力密封性

FFU送風方法的靜壓箱為負壓力，出風口組裝的密封較容易一些，而且就算發生泄露，就是從凈化室向靜壓箱泄露，不會形成對潔凈室的環境污染。自然，FFU送風方法也是有自身缺點。

在低階其他凈化室(千級及以上)，選用FFU送風系統軟件需要大量CeilingGrid、FFU、防靜電地板，造價較高。而集中化送風方法針對低等其他凈化室可采取中送側下次的氣體方式，不能使用防靜電地板，甚至是在10萬級以上凈化室可采取中送上次的形式，連送風夾道都不需要。

對于這種難題，出現FFU的簡單化系統軟件，實際上是集中化送風和FFU的搭配。這種方法撤銷防靜電地板和干冷卻盤管，選用中送側下次的氣體方式，房間內負載由循環系統發電機組解決。比如，在某個硅晶片廠房診斷室中就采用了這種方法。該室凈化*為5級，選用新風機組+循環系統發電機組+FFU的空調方法。所采用的氣旋方式為頂端FFU送風，屋子側下百葉風口送風。系統原理圖如圖2。

FFU的另一個主要缺點機器設備數量龐大而分散化，不便于維護。并且FFU設置在裝修吊頂上，檢修有一定艱難。而集中化送風方法因機器設備較為集中，數量少，易于維護。FFU不適用于對噪聲需有嚴格要求的場所，現階段單獨FFU噪音一般在50dB(A)之上，幾十個上百個乃至好幾千個FFU一起工作。在上文詳細介紹某半導體設備項目一期工程項目百級凈化區評測噪聲值在56~62dB(A)中間。在二期工程百級凈化區評測噪聲值在67~69dB(A)中間?，F階段噪音原因還是FFU的一項研究課題研究。

人是凈化車間中重要的污染源。在建設凈化車間時，便根據潔凈度和送風量設定了凈化車間的額定人數，如果存在凈化車間內的工作人員超過定額人數，且工作量大、工作時間長、出入凈化車間人次數多等情況，那么，便會導致凈化車間空調效率相對下降，從而使環境衛生質量下降。

無風機過濾單元是一種內配風機裝修吊頂用發電機組，用以漩渦及潔凈臺清潔房間內，該設備設計方案總體靈便，根據設計規格，它能輕易地相互配合*吊頂骨架，從而達到潔凈等級1000級至1級規定。

風機過濾單元是當前清潔市場中其中一種*清靜、價錢良好的發電機組。使用這種發電機組，能夠為凈化室運輸高品質氣體。并且氣體流形好，它適用于半導體材料，電子、觸控顯示屏和硬盤驅動器生產廠家及電子光學、微生物工業等應用領域于凈化室、凈化工作臺、清潔生產流水線、拼裝式凈化室和局部千級等場所以及其它對空氣中的環境污染有嚴格把控標準的地區低耗能，減少使用成本。